产品概述：

>日本岛津-氦质谱检漏仪

应用领域：镀膜设备检漏
灵敏度: 10-13~100Pa・m3/s【He】氦气排气速度：3L/S
适合油泵的、适合干泵的。

卓越的本底恢复性能
告诉测试，性能稳定
无油/无尘/三年免维护
实现高精度检测/
极短的节拍时间